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電子級氣體檢測

發(fā)布時間:2024-01-28

關(guān)鍵詞:電子級氣體檢測

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來源:北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所

文章簡介:

電子級氣體指的是用于半導(dǎo)體行業(yè)中的氣體材料,主要用于制造半導(dǎo)體器件的工藝過程中。電子級氣體的純度要求非常高,能夠保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。研究所為了確保電子級氣體
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電子級氣體指的是用于半導(dǎo)體行業(yè)中的氣體材料,主要用于制造半導(dǎo)體器件的工藝過程中。電子級氣體的純度要求非常高,能夠保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。中析研究所為了確保電子級氣體的質(zhì)量,進行了相關(guān)的檢測工作。

檢測范圍

中析研究所針對電子級氣體進行了以下樣品的檢測:

1. 氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氯氣等常用氣體

2. 高純度氣體,如高純氮氣、高純氫氣、高純氧氣等

3. 氨氣、二氧化硅氣體等用于特定工藝的氣體

檢測項目

中析研究所對電子級氣體進行了以下性能指標的檢測:

1. 氣體純度:檢測氣體中雜質(zhì)元素的含量

2. 含濕量:檢測氣體中水分的含量

3. 氧含量:檢測氣體中氧氣的含量

4. 壓力:檢測氣體的壓力大小

檢測使用的儀器設(shè)備

中析研究所使用高精度氣體分析儀進行電子級氣體的檢測。該儀器能夠通過化學(xué)分析技術(shù),快速、準確地測量氣體中各種元素和化合物的含量,具有高靈敏度、高分辨率和高精確度的特點。

優(yōu)勢介紹

中析研究所在電子級氣體檢測方面具有以下優(yōu)勢:

1. 設(shè)備先進:中析研究所使用的氣體分析儀器設(shè)備具有先進的技術(shù)和功能,能夠滿足對電子級氣體純度的高要求。

2. 正規(guī)團隊:中析研究所擁有一支經(jīng)驗豐富的正規(guī)團隊,能夠熟練操作儀器設(shè)備進行檢測,并準確分析和報告檢測結(jié)果。

3. 快速反應(yīng):中析研究所能夠迅速響應(yīng)客戶的檢測需求,提供快速、準確的檢測服務(wù),確保電子級氣體的質(zhì)量。

通過中析研究所的檢測工作,可以保證電子級氣體在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用質(zhì)量,提高半導(dǎo)體器件的可靠性和性能。

標準列舉

  • SJ2798-1987 電子級氣體中顆粒的測定方法光散射性法
  • SJ2799-1987 電子級氣體中痕量水份的測定方法目視露點法
  • SJ3236-1989 電子級氣體中痕量氧的測定方法黃磷發(fā)光法
  • SJ3239-1989 電子級氣體色譜分析方法的一般規(guī)定
  • SJ2807-1987 電子級氣體中痕量氫的測定方法氣敏色譜法
  • SJ2800-1987 電子級氣體中痕量甲烷的測定方法氫焰色譜法
  • SJ2796-1987 電子級氧
  • SJ2795-1987 電子級氮
  • GB11446.1-1989 電子級水
  • GB/T28159-2011 電子級磷酸 Electronicgradephosphoricacid
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